内藤電誠工業株式会社評価解析事業部は、半導体製品の信頼性評価(耐候性試験)/実装評価(耐熱性試験)/調査解析(外観/非破壊/半破壊/破壊)を行います。


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2019年2月にリプレースしました。
従来の直交CTに加え、斜めCTが利用可能となり、様々角度からX線観察を実施可能となりました。

調査解析事例
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X線CT観察事例

《装置外観およびスペック》

装置外観図
 
型名:Cheetah EVO (エクスロン社製)

CTスキャン:直交+斜めCTスキャン

透視観察:ナノ・マイクロ・ハイパワー

観察倍率:~3000倍

焦点寸法:最小0.3μm

管電圧:最大160kV 管電流:最大1mA

ステージサイズ:460mm×410mm 

サンプル重量:最大5kg

映像素子:FPD 16bit 100万画像

《直交CTと斜めCT》

直交CT

試料の回転方向に対して
X線を直交方向から照射し
360度方向から撮影

 

直交 CT画像(例 BGAボール)
斜めCT

FPD(X線検出器)を傾斜させ
ステージを360度水平回転しながら撮影


 



斜め CT画像(例 BGAボール)

《直交CTによる精細観察》

直交CTでは試料サイズに制約があるものの、
収集する情報量が多く、精細な観察が可能です。

《斜めCT+3Dイメージ画像》

基板のままTC観察することは、直交CTでは限界があります。
斜めCTでは観察部品を中心に水平回転させ、撮影致しますので
基板のままCT観察が可能となります。

《X線CTデータからの欠陥解析》

欠陥解析モジュールや専用ソフトウェアにより、
半田のぬれ性や、ボイドなど内部欠陥や状態を検出することが可能です。


《STLデータ出力》

X線CTデータから3次元形状データを保存するSTLデータに変換可能です。
STLデータにより、3Dプリンタによる模型作成や、現物と設計の比較検討が可能となります。

 

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内藤電誠工業株式会社
評価解析事業部(溝ノ口工場)
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